潔凈室的氣流組織必須保證上述三個功能,潔凈室的主要功能是:
1.防止灰塵發生,
2.防止灰塵進入,
3.有效地排出現有的灰塵.
從氣流組織來看,潔凈室的氣流組織分為三類:
帶擴散風口過濾器頂部送貨.
局部孔板頂部送貨.
局部阻尼層頂部送貨.
雙壁回風頂部送貨.風口側送.風口斜送.散流器頂部送貨.
擴散感應風口頂部送貨.
1.水平層流動.雙層壁雙側回歸.,上回歸.,中間回歸.,一字串聯.往復串聯.三、局部層流潔凈室,局部層流(垂直式、水平式),
2.亂流加潔凈工作臺式,
3.亂流加局部層流式,
4.工作臺隧道式,
5.隧道潔凈室式,
6.潔凈管道式,
1.亂流式氣流組織依靠氣流混合稀釋作用,逐漸排出室內塵粒,達到平衡.
2.由于氣流混亂,室內發生的灰塵粒子可以稍微擴散,濃度分布迅速均勻,同時通風次數增加到極限時,室內灰塵濃度不會明顯下降,可以達到的空氣潔凈度水平有極限,約在1000級以下.當灰塵量少時,也可能達到更高的水平,但難以維持.
1、保持正壓,
①加壓空氣量,潔凈室內加壓空氣量主要決定泄漏風量,通風次數表示加壓風量,參考表7—1,概算時通風次數為2~3次.、加壓所需換氣次數、
②加壓控制、加壓程度考慮圍護結構強度、開門是否方便等因素,一般控制和室壓差為5-20Pa(0.5-20Pa).的雙曲馀弦值.
2、局部灰塵控制,由于混亂潔凈室內氣流混亂,灰塵粒子可以擴散到室內任何地方.如果局部場所有灰塵,如果不控制灰塵場所,會影響整個房間.
即使增加通風次數,效果也不明顯,最好的方法是從局部氣流組織的處理中著眼于局部灰塵設備的圍欄和局部排氣.如果生有毒有害氣體的情況下,除了控制氣流組織外,還處理排氣,滿足環境保護要求后排出室外.
另一方面,層流氣流組織的特征是層流氣流是主方向的氣流,幾乎沒有橫向間的混合和干擾,在整個潔凈室中,層流氣流成為活塞,可以迅速排除室內污染空氣.因為是層流,污染從灰塵到排出,基本上是沿著氣流的方向進行的,稀釋少,發生污染的話,下風側的污染可能性比混流氣流大得多.
1.防止過濾器泄漏,如果過濾器發生泄漏,就會降低層流氣流組織的優點,為了避免泄漏,必須對過濾器的框架采取防止泄漏的措施,潔凈室的等級越高越要注意.
2.確保室內送風氣流的均勻性,
①提高室內送風過濾器的滿布率,
②提高送風速度的均勻性,送風速度不均勻的原因是過濾器阻力不均勻的靜壓箱內壓力不均勻的靜壓箱送風管道內的風速過大.
由于以上原因,送風速度和阻力不均勻,相應地區的風量不同,風速也不同,破壞氣流的平行性,引導現象也發生.
為了克服上述送風速度的不均勻現象,
a、嚴格選擇高效過濾器,使各阻力在±10Pa以內不同,
b、過濾器下設置阻尼層,甚至設置阻力不均勻的阻尼層,
c、加大靜壓箱的高度,一般希望在800mm以上的d、集中管道
③提高回風速度的均勻性,回風速度不均勻的原因是a、地面回風溝出口風速過大,
b、回風隔板阻力過小,
c、集中回風
3.消除感應現象,感應現象是指與層流流動方向不同的氣流,將室內發生的灰塵和附近污染區的灰塵感應到上風側的現象引導的原因和消除方法
①過濾器和墻壁之間的死角是引導的原因之一,為了避免引導現象,該死角的寬度必須控制在100mm左右.
②層流與亂流潔凈室之間的隔墻和天花板沒有完全關閉,留下間隙和通道,由于層流的潔凈室風速大,可以引導從亂流潔凈室向層流潔凈室.
③亂流潔凈室的部分和層流潔凈室的部分沒有間隔時,如潔凈隧道,在接口附近口附近引導,氣流紊亂,灰塵濃度上升.
④相應消除誘導的方法是設置圍欄,增加緩沖層和空氣幕.
層流(平行流)潔凈室 |
FFU送風系統 |
送風氣流 |
亂流式氣流 |