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百級光學玻璃潔凈室設計規范.得創凈化工程專業從事玻璃潔凈室工程規劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)接觸的大氣的潔凈度和溫度、濕度,使產品在良好的環境空間內生產制造,我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是按照每立方米空氣中直徑大于劃分標準的顆粒物數來規定的。也就是說,所謂無塵并不是百分之百沒有任何灰塵,而是控制在極少量的單位內。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒和我們常見的粉塵相比是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響,所以在光學結構產品的生產中,對車間進行無粉塵凈化是必然的要求。
潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮顆粒濃度的唯一指標劃分潔凈室(區)和相關控制環境中的空氣潔凈度等級,只考慮0.1um~0.5um范圍內累計分布的顆粒組。根據粒徑,可分為傳統粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空氣潔凈 度等級(N) |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子) |
|||||
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
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352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
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3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
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|
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35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平 |
潔凈室室內氣流倒灌,為防止室外氣流倒灌。防止潔凈室的凈化空調系統停止運行時,室外空氣倒灌流入室內,引起污染和沉積。工程中常用的防倒灌措施是:
①采用設置中效過濾器,這種方式結構簡單、維護方便;
②采用止回閥,使用方便,但密閉性較差;
③采用密閉閥,密閉性好,但結構復雜,管理不便;
④采用自控裝置。
2 含有易燃、易爆局部排風系統的防火防爆。
3 排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區有害物排放濃度及排放量規定時,應進行無害化處理。
4 對含有水蒸氣和凝結性物質的排風系統,應設坡度及排放口。潔凈室內的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間,應采取通風措施,其室內的靜壓值,應低于潔凈區。
通風和空調部分包括一到五層的清潔空調和通風系統、壓縮空氣系統和真空吸引系統。凈化空調系統的高效出風口、層流罩、空調機組等安裝工程應符合專業設計施工說明和以下施工驗收規范:
《通風與空氣施工及驗收規范》
(98修訂)《藥品生產質量管理規范》
《潔凈車間設計規范》
根據GMP根據標準化和生產工藝要求,空調凈化系統采用組裝式凈化空調。空調空氣經初級、中級、高效三級過濾,高效過濾器設置在終端送風口上。凈化空調系統采用頂部送風和側壁下回風。通過沿墻回風支管,然后通過天花板回風干燥管返回空調機組。采用全空氣低速單風管系統,氣流組織為湍流,局部百級潔凈室采用自帶風機的清潔層流罩"
"凈區空調管道采用優質鍍鋅鋼板咬合材料制成。風管材料厚度的選擇以及法蘭、三通、彎頭、變徑管等部件的做法見《國家通用通風管件圖》。
空氣清潔技術是一種要求較高的綜合技術,旨在控制生產環境中的粉塵、細菌、細菌和微生物,以確保產品的高精度、高純度和高可靠性。根據這些特殊要求,空氣清潔系統的生產和安裝不僅應按照國家規范的要求進行,還必須根據具體情況采取一定的技術措施,以滿足清潔系統安裝的潔凈度和嚴密性的要求。
潔凈室工業廢氣管道安裝規范
工業氣體管道的主管道應敷設在技術夾層和技術夾層中。氫氣和氧氣管道應明確應用。如果敷設在技術夾層和技術夾層中,應采取良好的通風措施。應使用干凈的支管。
一、高純氣體管道設計,應滿足以下要求:
1.根據計算確定管徑。
2.管道系統應盡可能短。
3.不宜設置預留口。
4.不應出現盲管等不易吹除的部位。
5.主管不支管上應設置吹除口。
6.管道系統上應設置吹除口。
6.1.氣體管穿過潔凈室墻壁或地板,應敷設在預埋套管內,套管內的管段不得有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
6.2.放散管應設置在氫氣和氧氣管道的末端或最高點。在防雷保護區內,放散管應高出屋脊1米。
6.3.氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一規劃的要求進行選擇。氣體凈化裝置應設置在氣體使用點附近。
6.4.氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高效氣體過濾器應安裝在高純度氣體管道中。
二、管道材料、閥門及附件
管材應根據不同的氣體及其純度和用途,按以下規定選用:
1.氣體純度或等于99.不銹鋼管應使用999%。
2.氣體純度大于或等于999.不銹鋼管、銅管、無縫鋼管應在99%時使用。
3.氣體純度小于99.無縫鋼管可用于99%。
4.金屬管道應用于管道與設備的連接段;如果是非金屬軟管,應使用聚四氟乙烯管、聚乙烯管,不能使用乳膠管。
4.1.高純度氣體管道應采用密封性能好的低門及附件,其材料應與管道相適應。閥門的密封圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯。閥門的填充材料應為聚四氟乙烯。
4.2.用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料連接高純氣體管道和附件的密封墊。
三、管道連接和清洗
1.管道連接應采用焊接,高純度氣體管道應采用承插焊接。
2.管道與設備、閥門的連接處,應采用法蘭、螺紋或其它密封性能優異的連接件。用聚四氟乙烯帶密封螺紋。
3.高純氣體管道內壁、閥門及附件安裝前,應進行清洗、脫脂等預處理。
4.安全技術
四、工業氣體管道設計的安全技術, 應符合下列規定;
1.回火防止器應設置在氫氣管道的支管和放散管上。
2.氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。
3.各種氣體管道應設置明顯的標志。
3.1.潔凈室內使用氫氣時,應在室內設置報警裝置。
3.2.潔凈室外應設置各種氣瓶,當日用氣量不超過一瓶時,可在潔凈室內設置氣瓶。
一般照明和插座線路BV和vv塑料絕緣線通過鋼管穿過墻壁、屋頂天花板或地下,照明配電箱引起的回路零線不共用,單相三極接地插座接地樁頭,故障時電氣裝置可能帶電壓的外露導電部分應可靠連接PE線路。在電氣施工過程中,應與建筑物、結構、給排水、圍護結構、暖通空調工程等工種密切配合。各電氣設備的出口標高和位置以各工種的圖紙為準。在圍護結構和土建施工過程中,電工類型應在現場配合,做好現場預埋工作,按規范施工和驗收。
1、電氣安裝工程的質量必須符合以下標準:
①施工圖紙
②、《電氣設備安裝工程施工及驗收規范》
③、《建筑安裝工人安全技術操作規程》
④、《電氣照明施工及驗收規范》
⑤、《接地裝置施工及驗收規范》
⑥、盤、柜、二次回路結線"驗收規范
⑦、《電纜線路施工及驗收規范》
⑧、《潔凈室施工驗收規范》
2、對電氣材料的質量要求
①、使用的主要電氣材料、電氣設備應符合國家或部頒發的技術標準,并具有出廠證書,設備應有銘牌。
②、所有電氣材料、設備到達現場后,應進行以下驗收:
技術文件是否齊全;
型號、規格是否符合設計要求,附件是否齊全;
外觀檢查是否符合質量標準,所有不合格產品必須立即離開現場;
經檢驗合格的材料和電器應妥善保管。
武漢得創凈化工程有限公司是一家從事廠房凈化車間、凈化空調、中央空調設計、制作和安裝的專業公司 擁有幾十年的工程設計、制作、安裝、調試、檢測、售后服務等綜合性成套服務及工作經驗。承建和設計10—1000000級潔凈室及凈化廠房