潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮顆粒濃度的唯一指標劃分潔凈室(區)和相關控制環境中的空氣潔凈度等級,只考慮0.1um~0.5um范圍內累計分布的顆粒組。根據粒徑,可分為傳統粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
ISO14644-1(國際標準)
空氣潔凈 |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子) |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
|
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
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|
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35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平 |
GB/T16292-1996(中國標準)空氣潔凈度分級標準
粒徑、數值 |
塵埃最大允許數/立方米 |
微生物做大允許數 |
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≥0.5um |
≥5.0um |
游浮菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
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100級 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
1,000級 |
35,000 |
200 |
50 |
2 |
10,000級 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000級 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000級 |
10,500,000 |
60,000 |
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15 |
美國聯邦標準(USA Federal Standard)
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國家藥品監督管理局1999年8月1日發布實施 |
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國家標準GB50073-2001 |