百級存儲芯片半導體潔凈室設計規范.得創凈化工程專業從事芯片潔凈室工程規劃，設計，施工一條路凈化工程公司，歡迎來電咨詢：027-82289886
根據應用領域和產品的不同，潔凈室也有設計方案上的區別，因此，電子芯片的潔凈室設計綜合性的改造，只有充分了解電子造業的各車間功能、生產工藝特點等，經合理優化的設計，才能創造出符合行業發展要求的無塵潔凈環境，使得電子芯片的生產效率大大提高

換氣次數：
100000級≥15次；
10000級≥20次；
1000≥30次。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；
溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。
濕度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；
電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；
照度300LX。

1、動態測試時，潔凈室的噪聲水平不應超過70分貝A。
2、空態試驗時，亂流潔凈室的噪聲級不應大于60分貝A；層流潔凈室的噪聲水平不應大于65分貝A。
①由于技術和經濟條件的限制，或噪聲大于70分貝A如果對生產沒有影響，可以適當放寬噪聲級別，但不應大于75分貝A；
②上述噪聲水平是指在室內每個工作點（人員離開）中人耳位置的測量值。對于改變噪聲，在正常工作日內在同一位置的等效連續聲壓水平。
對于潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用雙頻程聲壓級；每個頻帶的聲壓級值不應大于。潔凈室的平面、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護結構應具有良好的隔音性能，并應使各部分隔音量接近。
低噪聲產品應用于潔凈室的各種設備。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備，應設置專門的隔音設施(如隔音室、隔音罩等。
凈化空調系統噪聲超過允許值時，應采取隔音、消聲、隔振等控制措施。
除事故排氣外，潔凈室內的排氣系統進行降噪設計。
3、凈化空調系統，根據室內噪聲等級的要求，風管內的風速應按以下規定選擇：
①總風管6-10米/秒；
②無送回風口的文風管為6~8米/秒；
4、有送回風口的文風管為3~6米/秒。
清潔工廠的噪聲控制設計必須考慮生產環境的空氣潔凈度要求，不得因噪聲控制而影響潔凈室的凈化條件。

潔凈室安裝現場施工管理規范　
為使項目按時完成，我公司將根據項目法施工的要求，配備了解技術、良好管理、具有多種類似項目施工經驗的管理人員，進行全過程、全方位的規定、組織、控制和協調。現場施工管理分為三個階段，確保現場環境衛生的有效控制，以滿足項目完成時的潔凈要求。　
1、第一階段：要求一般污染控制　
在本階段開始前，除設備進入預留孔外，還應完成建筑的門窗和內部油漆。本階段可定義為天花板安裝前的防塵涂層、空調機組安裝、動力設備、一次管道和配電（電纜橋和電氣管道）、墻板和天花板的龍骨安裝等工作內容。　
管理規定：　
1)所有進入潔凈廠房的人員，必須接受本階段管理規定的培訓，并佩戴相應的胸徽(準入證)入室；　
2)進入潔凈廠房時要穿干凈的鞋，不能帶油漬、污泥進入；　
3)不允許在室內吸煙、飲食和飲水；　
4)必須控制焊接、切割、鑿洞等有塵作業，防止碎屑大規模擴散，每天工作結束時將垃圾搬出室外倒入規定處；　
5)建筑材料堆放整齊；　
室內禁止大小便；　
7)違反上述規定的，應立即取消在潔凈廠房工作的資格。　
2、第二階段：污染控制要求較高　
這一階段可以定義為第一階段后和吹掃前的操作過程。墻板、吊頂板安裝、壁板安裝、燈具安裝等工作內容，采用局部擦洗、真空吸塵等方法進行全面徹底的潔凈。　

1、管道涂色
●管道涂裝前必須經過試壓，試漏合格后才能進行；
●不保溫管先做防銹處理，再刷銀灰漆涂色環；
●保溫管末端保溫前涂兩次紅丹底漆，保溫管涂兩次冷底油，保溫后加色環。
●埋地管道先涂冷底油，再涂瀝青，外包玻璃布保護層，再填土；
●不銹鋼管、塑料管均不涂漆，直接涂色環；
●所有法蘭和螺栓的顏色與筒道的顏色一致；
2、質量要求
●管道連接焊接采用亞電弧焊接，焊接后焊縫外表面采用不銹鋼絲刷清洗。焊接前應進行規格管道的試焊，試焊焊接合格后方可進行正式焊接。
●隱蔽管道的焊接是關鍵工序，必須嚴格控制。
●管道支架符合設計要求和施工規范要求。
●竣工后和交付前進行吹掃。

潔凈室工業廢氣管道安裝規范
工業氣體管道的主管道應敷設在技術夾層和技術夾層中。氫氣和氧氣管道應明確應用。如果敷設在技術夾層和技術夾層中，應采取良好的通風措施。應使用干凈的支管。
一、高純氣體管道設計，應滿足以下要求：
1.根據計算確定管徑。
2.管道系統應盡可能短。
3.不宜設置預留口。
4.不應出現盲管等不易吹除的部位。
5.主管不支管上應設置吹除口。
6.管道系統上應設置吹除口。
6.1.氣體管穿過潔凈室墻壁或地板，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不得有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
6.2.放散管應設置在氫氣和氧氣管道的末端或最高點。在防雷保護區內，放散管應高出屋脊1米。
6.3.氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一規劃的要求進行選擇。氣體凈化裝置應設置在氣體使用點附近。
6.4.氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高效氣體過濾器應安裝在高純度氣體管道中。
二、管道材料、閥門及附件
管材應根據不同的氣體及其純度和用途，按以下規定選用：
1.氣體純度或等于99.不銹鋼管應使用999%。
2.氣體純度大于或等于999.不銹鋼管、銅管、無縫鋼管應在99%時使用。
3.氣體純度小于99.無縫鋼管可用于99%。
4.金屬管道應用于管道與設備的連接段；如果是非金屬軟管，應使用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不能使用乳膠管。
4.1.高純度氣體管道應采用密封性能好的低門及附件，其材料應與管道相適應。閥門的密封圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯。閥門的填充材料應為聚四氟乙烯。
4.2.用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料連接高純氣體管道和附件的密封墊。
三、管道連接和清洗
1.管道連接應采用焊接，高純度氣體管道應采用承插焊接。
2.管道與設備、閥門的連接處，應采用法蘭、螺紋或其它密封性能優異的連接件。用聚四氟乙烯帶密封螺紋。
3.高純氣體管道內壁、閥門及附件安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。
4.安全技術
四、工業氣體管道設計的安全技術， 應符合下列規定；
1.回火防止器應設置在氫氣管道的支管和放散管上。
2.氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。
3.各種氣體管道應設置明顯的標志。
3.1.潔凈室內使用氫氣時，應在室內設置報警裝置。
3.2.潔凈室外應設置各種氣瓶，當日用氣量不超過一瓶時，可在潔凈室內設置氣瓶。

武漢得創凈化工程有限公司——清潔室空氣凈化行業協會會生企業，潔凈技術專家委員會主任委員單位，電子潔凈技術委員會主任委員企業，公司有著多種發明專利潛心無塵車間、診室、實驗室凈化處理去濕防靜電工程、通風空調工程、自動化技術控制技術。業務流程包含電子器件、藥業、化工廠、食品類、儀器儀表、金屬、光學、處理芯片、半導體材料、鋰電池光伏新能源、航空公司、核電廠等民用型行業。公司注冊資本3100萬余元，其前身為中航院潔凈技術研究所，創立于1989年9月。
　公司內設九部一辦，轄16個省份工作部門。很多年來，公司一直堅持“誠實守信贏領將來”的企業發展理念和“遵紀守法誠實守信、以以德治國企、創新管理、改革創新”的公司發展戰略方針，借助機器設備，深厚的工藝能力和充足的作業工作經驗，潛心電子器件、半導體材料、鋰電池、太陽能發電、光學、金屬、新能源技術、精密的機器設備、藥業、化工廠、食品類、航空公司、核電廠等行業無塵車間、潔凈廠房、診室、實驗室等潔凈室工程、防靜電工程項目、通風空調工程、自動化技術控制技術。20很多年來在國內各地承包完成了數家潔凈廠房、無塵車間、凈化手術室、實驗室等凈化室凈化工程實例，每個工程項目都以安全性、迅速遭受顧客和世界各國權威專家的一致五星好評。