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萬級微電子潔凈廠房設(shè)計(jì)施工

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萬級微電子潔凈廠房設(shè)計(jì)施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事電子潔凈廠房工程規(guī)劃,設(shè)計(jì),施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
電子廠建造一個潔凈廠房,需要保證車間的無塵標(biāo)準(zhǔn),嚴(yán)格按照施工要求去執(zhí)行,首先保證車間內(nèi)的施工順序,其次施工過程中需要及時的清掃灰塵,清除角落的雜質(zhì),保證車間內(nèi)的密封性,防止異物進(jìn)入。在裝修潔凈廠房時,要注意車間內(nèi)的送風(fēng)潔凈度,對車間內(nèi)需要定制進(jìn)行通風(fēng)換氣,保證車間內(nèi)的氣流組織及潔凈壓差等,下面詳細(xì)的為大家介紹下。

萬級電子潔凈廠房美國宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級

美國宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級


生物

潔凈

標(biāo)準(zhǔn)

塵埃

生物粒子

壓力

溫度

濕度

氣流

照度

粒徑

(μm)

個/L

浮游量

(個/L)

浮沉量

(個/m2周)

mmH2O


%

換氣

次數(shù)

Lx

100

≥0.5

≤3.5

≤0.0035

12900

≥1.25

指定數(shù)

40~45

 

1000~1620

10000

≥0.5

≥5.0

≤350

≤2.3

≤0.0176

64600

≥1.25

 

100000

≥0.5

≥5.0

≤3500

≤23

≤0.0884

323000

≥1.25

 



 

電子潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 電子潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級電子潔凈廠房設(shè)計(jì)依據(jù)

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》            (JGJ71-90)

《通風(fēng)與空調(diào)工程施工》              (GB50243-2002)

《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》      (GB50019-2003)

《通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口設(shè)計(jì)規(guī)范》

《凈化車間設(shè)計(jì)規(guī)范》                (GB 50457)

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》            (GB/T 16292)

《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》             (GBJ50073-2001)

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》     (JGJ71-90)

《暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》     (GBJ19-87)

《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》             (GBJ16-87)

《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》     (GBJ87-85)

《工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》         (GB50034-92)

電子潔凈廠房設(shè)計(jì) 電子潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

萬級電子潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1 空氣潔凈度十萬級及高于十萬級的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、 中效、 高效過濾器三級過濾。 對于十萬級空氣凈化處理,也可采用亞高效空氣過濾器代替高效過濾器。 低于十萬級的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、 中效過濾器二級過濾。 
2 空氣過濾器的選用、 布置方式: 
a、 初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器; 
b、 中效空氣過濾器且集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段; 
c、 高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。 
3 下列情況的空氣凈化系統(tǒng)宜分開設(shè)置: 
a、 單向流潔凈廠房與非單向流潔凈廠房; 
b、 高效空氣凈化系統(tǒng)與中效空氣凈化系統(tǒng); 
c、 運(yùn)行班次和使用時間不同的潔凈廠房; 
4 下列情況的空氣凈化系統(tǒng),如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時, 則不應(yīng)利用回風(fēng)。 
a、 固體物料的粉碎、 稱量、 配料、 混合、 制粒、 壓片、 包衣、灌裝等工序; 
b、 固體口服制劑的顆粒、 成品干燥設(shè)備所使用的凈化空氣; 
c、 用有機(jī)溶煤精制的原料藥精制、 干燥工序; 
d、 凡工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì), 揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序; 
5 對面積較大空氣潔凈度較高,位置集中及噪音、 振動控制要求嚴(yán)格的潔凈廠房宜采用集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)。 
a、 需要消毒滅菌的潔凈廠房,應(yīng)設(shè)排風(fēng)設(shè)施。 
b、 潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防倒灌措施。 
c、 含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防火、 防爆措施。 
d、 潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備, 應(yīng)設(shè)單獨(dú)的局部除塵和排風(fēng)裝置 
6 采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。 
a、 換鞋室、更衣室、洗消室、以及廁所、淋浴室應(yīng)設(shè)通風(fēng)裝置,室內(nèi)靜壓值應(yīng)低于有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)區(qū)。 
b、 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。系統(tǒng)的開啟程序?yàn)橄乳_送風(fēng)機(jī),再開回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。系統(tǒng)關(guān)閉時操作程序反之。 
c、 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈廠房,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機(jī),并保證室內(nèi)空氣潔凈度和壓力。

電子潔凈廠房設(shè)計(jì) 電子潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

萬級電子潔凈廠房總體設(shè)計(jì)

電子生產(chǎn)潔凈廠房規(guī)劃選址要求  
1、選址時要考慮:地點(diǎn)周圍的自然環(huán)境和衛(wèi)生條件都很好,至少沒有空氣或水污染源,還要遠(yuǎn)離交通干道、貨場等。  
2.廠區(qū)環(huán)境要求:廠區(qū)地面、道路應(yīng)平整無塵。減少露土面積或通過綠化控制粉塵的措施是合適的。垃圾和閑置物品不得露天存放。簡而言之,工廠的環(huán)境不應(yīng)污染無菌電子的生產(chǎn)。  
3、工廠的總體布局要合理:不能對無菌電子的生產(chǎn)區(qū),特別是潔凈區(qū)產(chǎn)生不良影響。

電子潔凈廠房設(shè)計(jì) 電子潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

萬級電子潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

千級潔凈廠房為柔性電子潔凈廠房,車間溫濕度要求在(21±2)℃,濕度控制在(55±10)%。  
1.方案一:AHU(空調(diào)機(jī)組)+HEPA(高效送風(fēng)口)  
2.方案二:MAU(新風(fēng)機(jī)組)+RAU(循環(huán)機(jī)組)+HEPA(高效送風(fēng)口)  
3.方案三:AHU(空調(diào)機(jī)組)+FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)  
對比三種方案發(fā)現(xiàn)三種方案造價差異不大,但方案三由于使用了大量循環(huán)風(fēng)且只經(jīng)過一次高效過濾,在運(yùn)行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。

電子潔凈廠房設(shè)計(jì) 電子潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

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