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萬級集成電路潔凈廠房設計裝修

來源:http://m.huirenmed.com/ 作者:DEIIANG得創 發布時間:2022-11-28 16:40

萬級集成電路潔凈廠房設計裝修.得創凈化工程專業從事集成電路潔凈廠房工程規劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
用于生產電子產品的潔凈廠房,是將一定空間范圍內的空氣塵埃粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內,而專門設計建造的生產車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化,其室內環境均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點。

萬級集成電路潔凈廠房

怎樣判斷醫院凈化工程是否達標呢,要怎樣驗收呢?小編為了解答這個疑惑特別整理了醫院凈化工程的行業驗收標準。大家快來了解下吧
潔凈手術部(室)的施工,應以凈化空調工程為核心,取得其他工種的積極配合。潔凈手術室施工可按如下程序進行(其他輔助用房可參照此程序):
如圖:潔凈手術室施工程序圖
潔凈手術室施工程序圖
各道施工程序均要進行記錄,驗收合格后方可進行下道工序。施工過程中要對每道工序制訂具體施工組織設計
工程驗收
1、醫院的潔凈手術部(室)均應按本節規定獨立驗收
2、凈化空調工程驗收,分竣工驗收和綜合性能全面評定兩個階段
3、驗收的內容包括建設與設計文件、施工文件、施工記錄、監理質檢文件和綜合性能的評定文件等
4、潔凈手術部的其他設施,應按設備說明書、合同書,由建設方對設備提供方和安裝方分別進行驗收
工程檢驗
1、竣工驗收和綜合性能全面評定的必測項目應符合表10.3.1的規定,其中風速風量和靜壓差應先測,細菌濃度應最后檢測
10.3.1醫院凈化工程竣工驗收必測項目表
通風機的風量及轉數
系統和房間風量及其平衡
系統和房間靜壓及其調整
自動調節系統聯合運行
高效過濾器檢漏
潔凈度級別
級潔凈手術室手術區和級潔凈輔助用房局部百級區的工作面的截面風速
其他各級潔凈手術室和潔凈輔助用房的換氣次數
靜壓差
所有集中送風口高效過濾器抽查檢漏,Ⅰ級潔凈用房抽查比例應大于50%,其他潔凈用房應大于
溫濕度
噪聲
照度
新風量
細菌濃度
2、不得以空氣潔凈度級別或細菌濃度的單項指標代替綜合性能全面評定;不得以竣工驗收階段的調整測試結果代替綜合性能全面評定的檢驗結果
3、竣工驗收和綜合性能全面評定時的工程檢測應以空態或靜態為準。任何檢驗結果都必須注明狀態
4、竣工驗收的檢測可由施工方完成。綜合性能全面評定的檢測,必須由衛生部門授權的專業工程質量檢驗機構或取得國家實驗室認可資質條件的第三方完成
5、工作區截面風速的檢驗應符合下列要求
換氣次數的檢驗應符合下列要求
對級潔凈手術室和潔凈輔助用房應通過檢測送風口風量換算得出換氣次數,綜合性能檢測結果不應小于表規定范圍的均值,并不應超過此范圍上限的
對于分散布置的送風口,對每個風口用套管法檢測
靜壓差的檢驗應符合下列要求
1、在潔凈區所有門都關閉的條件下,從平面上最里面的房間依次向外或從空氣潔凈度級別最高的房間依次向低級別的房間,測出有孔洞相通的相鄰兩間潔凈用房的靜壓差,綜合性能測定結果應大于表4.0.1的規定值和符合4.0.2條的規定
2、測定高度距地面0.8m,測孔截面平行于氣流方向,測點選在無渦流無回風口的位置。檢測儀器為讀值分辨率可達到1Pa的斜管微壓計或其他有同樣分辨率的儀表
潔凈度級別的檢驗應符合下列要求
級潔凈手術室和潔凈輔助用房檢測前,系統應已運行,其他潔凈房間應已運行。在確認風速換氣次數和靜壓差的檢測無明顯問題之后,再檢測含塵濃度。對.和的微粒,檢測結果均應同時滿足下列條件各測點平均含塵濃度中的最大值不大于表
2、當送風口集中布置時,應對手術區和周邊區分別檢測,測點數和位置應符合表10.3.82的規定;當附近有顯著障礙物時,可適當避開。當送風口分散布置時,按全室統一布點檢測,測點可均布,但不應布置在送風口正下方
3、每次采樣的最小采樣量:百級:區域為5.66L,以下各級區域為
4、測點布置在距地面0.8m高的平面上,在手術區檢測時應無手術臺。當手術臺已固定時,測點高度在臺面之上
5、在百級:區域檢測時,采樣口應對著氣流方向;在其他級別區域檢測時,采樣口均向上
6、當檢測含塵濃度時,檢測人員不得多于2人,都應穿潔凈工作服,處于測點下風向的位置,盡量少動作
7、當檢測含塵濃度時,手術室照明燈應全部打開
8、檢測儀器應為流率不小于2.83L/min的光散射式粒子計數器
溫濕度的檢測應符合下列要求
1、夏季工況應在當地每年最熱月的條件下檢測,冬季工況應在當地每年最冷月的條件下檢測
2、室內溫濕度測定為距地面0.8m高的中心點,檢測結果應符合表4.0.1的規定。檢測儀器為可顯示小數后一位的數字式溫濕度測量儀。有溫濕度波動范圍要求的不適用本款的規定
3、測出室內的溫濕度之后,應同時測出室外溫濕度
噪聲的檢測應符合下列要求
1、噪聲檢測宜在外界干擾較小的晚間進行,以A聲級為準。不足15m2的房間在室中心1.1m高處測一點,超過15m2的在室中心和四角共測5點,檢測結果應符合表4.0.1的規定。檢測儀器宜用帶倍頻程分析儀的聲級計
2、全部噪聲測定之后,應關閉凈化空調系統測定背景噪聲,當背景噪聲與室內噪聲之差小于10dB時,室內噪聲應按常規予以修正
照度的檢測應符合下列要求
1、照度檢測應在光源輸出趨于穩定(新日光燈和新白熾燈必須已使用超過10h,舊日光燈已點燃15min,舊白熾燈已點燃5min),不開無影燈,無自然采光條件下進行
2、測點距地面0.8m,離墻面0.5m,按間距不超過2m均勻布點,不刻意在燈下或避開燈下選點。各點中最小的照度值應符合表4.0.1的規定。對大型以上(含大型)手術室,應校核照度均勻度,并符合規定
新風量的檢測應符合下列要求
1、新風量的檢測應在室外無風或微風條件下進行
2、通過測定新風口風速或新風管中的風速,換算成新風量,結果應在室內靜壓達到標準的前提下,不低于表4.0.1的規定
細菌濃度的檢測應符合下列要求
1、細菌濃度宜在其他項目檢測完畢,對全室表面進行常規消毒之后進行。表面染菌密度為監測項目,按《醫院消毒衛生標準》GB15982的方法檢測,檢測結果應符合表3.0.3的規定
2、當送風口集中布置時,應對手術區和周邊區分別檢測;當送風口分散布置時,全室統一檢測
3、當采用浮游法測定浮游菌濃度時,細菌濃度測點數應和被測區域的含塵濃度測點數相同,且宜在同一位置上。每次采樣應滿足表10.3.13-1規定的最小采樣量的要求,每次采樣時間不應超過
浮游菌最小采樣量表

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
   

萬級集成電路潔凈廠房環境設計要求

潔凈室工程又稱鏈接關鍵詞無塵車間工程。在高新技術產品加工過程中,如何滿足產品精密加工、小型化、高質量、高可靠性的要求,對生產環境中潔凈室工程的潔凈水平提出了更高的要求。
目前,潔凈室工程技術已廣泛應用于各行各業或其他需要防止顆粒物污染和微生物污染的環境實驗室控制中。由于不同行業之間距離大,要求不同,經營環境的內容和目標也不盡相同,以下是我國五大行業潔凈室對工程技術要求的總結。
1.藥品生物潔凈室要求
藥品是用來預防和治療疾病,恢復和調節身體機能的特殊商品。它的質量直接關系到人們的健康和安全。如果某些藥品在生產過程中受到微生物、粉塵顆粒等污染或相互滲透污染,可能會發生意外的疾病和損害。
2.醫用潔凈室工程要求及醫學探討
以集成電路為代表的工業環境實驗室的控制多采用工業潔凈室技術和工業潔凈室工程,而醫學上多采用生物潔凈室工程進行微生物污染控制。在生物潔凈室中,這些微生物主要由細菌和真菌組成,其粒徑為0。常見細菌的粒徑為0。它們大多附著在其他粒子上。生物污染通道不僅通過空氣,還與人體、經營者的衣著有關。在醫學研究領域,生物實驗室工程、無菌實驗室工程、特種養殖動物、養殖室等也非常需要控制微生物污染。
3.精密機械和精細化工產品生產的潔凈室工程要求
隨著科學技術的發展,許多工業產品的生產加工對生產環境中的粉塵濃度提出了很高的要求,這就要求生產環境具有一定的空氣潔凈度水平和各種相關物質的供應質量,需要對生產過程進行控制。例如在膠片生產中,如果膠片被粉塵污染,會產生乳化氧化、活性減弱、pH值變化等,進而影響膠片的感光度。
4.半導體和集成電路潔凈室的工程要求
半導體數據凈化是發展半導體器件的重要基礎。目前層流罩的最高級別是航天航空艙室,基本上屬于一級,屬于面積較小的特殊領域。此外,生化實驗室和高精度納米數據生產車間對水平也有更高的要求。物聯網芯片的發展將是未來需求的主要方向。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為了獲得高純度硅數據,材料和中心介質的高純度和高精度恒溫恒濕工程,生產環境的清潔已成為影響產品質量的突出問題。
集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,芯片的缺陷密度與空氣中粒子的數量有關。因此,集成電路的高速發展不僅要求空氣中粒子的大小,而且要求粒子的數量。另外,對超大規模集成電路生產環境中無塵車間工程的化學污染控制也有相關要求。
5.化妝品和食品生產的潔凈室要求
現代化妝品大多含有蛋白質、維生素、氨基酸、植物提取物等,為細菌、霉菌等微生物的繁殖提供了有利條件。凈化設備控制產品(如硅片)所接觸大氣的清潔度、溫度和濕度,使產品在良好的環境中生產制造。這個空間的設計和施工過程可以稱為凈化工程。因此,微生物污染是影響化妝品質量的重要因素。

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
   

萬級集成電路潔凈廠房設計前需要考慮的事項

我們知道潔凈廠房的建立要求是非常高的,因此,現在想要建設一個凈化車間,就必須從一開始設計的時候,就需要考慮全面,這樣才能保證凈化車間在施工的時候不出現差錯,那么,潔凈廠房設計前有哪些要求需要我們考慮呢?下面小編帶大家一起來了解下。
1、周圍環境的要求
凈化車間設計之前,我們首先得選好地址,首先凈化車間不僅要選在一些現代化的工廠內部,而且還要考慮它周圍的環境,凈化車間不能選擇在居民區,因為考慮到水資源流動的問題,我們在選址的時候,不能選在任何水資源的上游
2、車間廠房的結構格局
生產車間的建筑結構都比較寬敞的,在設計時要充分考慮到工作人員對室內環境的影響。生產車間建筑結構比較緊湊的,設計時要特別考慮到室內溫度,不同建筑格局對設計要求都不一樣
3、材料的選擇
凈化車間設計時,凈化車間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材。地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型
以上就是根大家介紹的關于潔凈廠房設計前需要考慮的事項方面的一些要求,從上面我們知道建立凈化車間一項復雜的系統工程,所以做好潔凈廠房設計前期準備工作顯得尤為重要

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
   

萬級集成電路潔凈廠房電氣電路安裝要點

1、低壓配管配線,要特別注意工程前期配合土建按圖正確預埋的檢查,配管時電管的彎曲處不應有褶皺凹穴、裂縫等
2、做好電氣施工隱蔽記錄,電氣設備開箱檢查記錄,以及所有的電氣材料的出廠合格證明。試車前認真檢驗線路,做好各種絕緣、接地電阻測試,及時、認真、真實的填寫各種測試報告
3、對所有機械動力設備,應做好各種開箱驗收記錄,設備安裝記錄,試車測試記錄,及時、認真、真實的填寫各種測試報告

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
   

萬級集成電路潔凈廠房排水裝修方案

應選擇無毒.不吸水不滲水.防滑.耐腐蝕.易清潔.防靜電的地面材料,地面還應有相應的坡度

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
   

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此文關鍵字:萬級,集成電路,潔凈廠房,設計,裝修
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