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大面積高清潔級別廠房中的地板運用實例

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 中國某液晶顯示屏新項目生產制造的玻璃基板規格為  2.2m × 2.5 m ,是我國第一家工藝技術路面(WaffleSlab,中文諧音為華夫板,下稱華夫板)選用無架空地板的“洞洞板”系統開發新項目,文中就以此項目地華夫板方案設計為例子,詳細介紹在凈化車間中怎樣有效地對華貿易夫板開展設計方案,表明“洞洞板”方案設計,科學研究該設計的氣旋仿真模擬以及工程造價,剖析其應用前景和宣傳使用價值。

1 項目簡介和問題明確提出

   該工程總占地為 60.4 萬 m2,廠區規劃建筑面積約 72 萬 m2,關鍵為列陣 / 彩膜工業廠房、成盒廠房、附設設備及配套設施等。在其中,列陣 /彩膜工業廠房總建筑面積約 40 萬 m2,主工業廠房 4 層,2 層和 4 層為工藝技術層,1 層和 3 層為送風層,清潔總面積約 15 萬 m2。成盒廠總建筑面積約 16 萬 m2,1層和 3 層為工藝技術層,2 層為送風層,清潔總面積近  4 萬  m 2。為盡早占領市場,控制成本,規定在3.5 個月內進行近 20 萬 m2凈化室工程施工,與此同時工程造價較中國類似加工廠減少10%,怎樣完成進展和費用預算總體目標,華夫板的制定是重要因素之一。

2 華夫板方案設計

2.1 華夫板作用規定

TFT-LCD 工業廠房均具備清潔總面積大,清潔級別高特性,一般選用層.流(豎直層.流和水準層.流)方法開展清潔解決,包含上技術性隔層(天花板吊頂層)、工藝技術層和下技術性隔層(送風層),華夫板層做為 TFT-LCD 工業廠房工藝技術安裝的地面上和自然通風安全通道,從作用上面有如下所示規定:

(1)載荷規定:TFT-LCD 生產設備較重,機器設備載荷達15000 N/m2~30000 N/m2,G8.5 代廠路面載荷規定為 30000 N/m2。

(2 )防微震規定:曝光機、絲網印刷機等機器設備對微震十分比較敏感,規定其基本抗微震做到VCC-C的等級。

(3)清潔自然通風的規定:華夫板做為工藝技術層到下技術性隔層的排風安全通道,規定能完成豎直層.流的自然通風規定,與此同時達到潔凈度等級規定。

2.2 華夫板方案設計

為完成華夫板的基本功能規定,世界各國較通常方案設計關鍵有以下幾類計劃方案:

(1 )架空地板計劃方案

① 格構梁   架空地板(Raised Floor):主體工程設計方案選用聚集砼井格梁(也稱格構梁),在格構主梁搭建架空地板(鋼架結構   后蓋板)。

② 玻璃鋼防腐(FRP)桶模   架空地板:混凝土樓板選用 600 mm~ 700 mm 厚,隱藏密肋梁,工程施工時選用玻璃鋼防腐(FRP)桶模預埋管口,路面進行后搭建架空地板。

③ 聚集鋼結構   架空地板:在聚集鋼結構上搭建架空地板。

④“洞洞板”(T u b e )  高架地板:混凝土樓板選用 600 mm~ 700 mm 厚,隱藏密肋梁,工程施工時選用環形鋼桶模預埋管口,路面進行后搭建架空地板。

以上計劃方案所有是在構造混凝土樓板(梁)上搭建架空地板,又可簡稱為架空地板方案設計,該設計方案必須在裝修施工時最先必須對構造混凝土樓板刷環氧涂料,隨后搭建架空地板鋼架結構框架,最終鋪裝后蓋板,工藝流程較多,不利減少施工期,與此同時因為架空地板需很多采用不銹鋼板材,工程造價較高,不利綠色環保。因為格構梁   架空地板工程造價低,運用較普遍,文中以此類方案設計為較為目標。

(2)無架空地板的“洞洞板”(Tube Floor)方案設計除架空地板方案設計外,在中國臺灣的某G8.5代廠選用一種最新的華夫板方案設計,即無架空地板的“洞洞板”(Tube Floor)方案設計,立即運用混凝土樓板上預埋的管口(Tube)開展自然通風,該方案設計因為自然通風繁雜、設計方案與工程施工難度系數大,并未被普遍選用,但因為施工工序較簡易,不用鋪裝架空地板,假如行得通,將十分有益于減短施工期,減少工程造價。

3 華夫板的采用

3.1 應用作用比照華夫板擔負工藝技術的載重作用、加工工藝物流運輸作用、凈化室層.流自然通風作用與此同時規定防微震作用,華夫板的兩大類設計方案對完成以上作用都各有偏重于實際應用作用較為見表 1。

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從表1 可以看得出,架空地板系統軟件的氣旋便于調整和操縱,設計方案、工程施工和經營技術水平低,缺陷是成本高、施工期較長,缺陷是為處理微震問題必須設計方案單獨防微震基座,受此危害,生產工藝流程布局調整限定較多;而無高架地板的“洞洞板”系統軟件在工程造價和施工期上占優,且因為是總體防微震設計方案,加工工藝生產布局可以靈便調節,不會受到防微震基座部位固定不動的限定,但氣旋調節難度系數大,對設計方案、工程施工和經營規定高。

3.2 自然通風比照

(1 )高架地板的自然通風高架地板是選用是在鋼架結構或砼構造上搭建打孔厚鋼板,其自然通風基本原理見圖 1。

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① 上技術性隔層的氣體(送風   新風系統混和)―― FFU(清潔氣體 Class 10~Class 1K)― ― 生產設備 ― ― 高架地板 ― ― 構造木地板(打孔)― ―下技術性隔層― ― DCC― ― 送風立井― ― 上技術性隔層,新風系統氣旋步驟為:戶外氣體 ― ― MAU 發電機組(解決至排風狀況點)― ― 下 / 上技術性隔層或送風立井。

② 生產制造安裝設備于木地板高架地板上,Photo、Coater 等對微震(Micro Vibration)規定高的機器設備立即安裝在防微震機臺子上。

③ 因為高架地板是由開孔率很高的后蓋板滿鋪,且相對高度超過  600 mm ,氣旋相對性勻稱,便于調節。

(2 )無高架地板的“洞洞板”自然通風洞洞板是同時在砼構造樓板預埋孔(TubeH ol e ),孔頂蓋不一樣開孔率的后蓋板,生產設備立即安裝在砼構造的樓板上,與高架地板方案設計對比,從上技術性隔層的豎直氣旋立即根據構造混凝土樓板進到下技術性隔層,因為構造混凝土樓板打孔限定,氣旋勻稱性需要精準設計方案,在工程施工結束后需開展評測認證。其自然通風基本原理見圖 2。

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(3 )無高架地板的“洞洞板”的氣旋仿真模擬對“洞洞板”自然通風問題,大家運用 CFD 手機軟件對“洞洞板”自然通風開展仿真模擬,以確定是不是能達到凈化室的規定,以Cell廠氣旋仿真模擬為例子,開展簡要說明:

① 模型標準:

a)實體模型規格為  300 m × 120 m × 7.5 m ,回風管設于左右兩側,下技術性隔層高  5.5 m ,方塊一部分意味著全自動設備搬運(Stocker),實際空間布局見圖3 。

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b)洞洞板摩擦阻力設置,默認值以 f = 1000,且聯合分布設置之,區劃共 96 個地區開展測算,將以分地區及均值工作壓力損害的定義,仿真模擬“洞洞板”與自然通風的關聯:

c )F F U 合理布局如表 2 。

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d)開孔率:混凝土樓板“洞洞板”開孔率 18?C布局:V 字形,f=4.63。

e)Stocker:不考慮到 Stocker 內部結構全部構造,僅僅一只下邊透氣性的空盒,機器設備內置FFU按上邊考慮到。

f)不考慮房屋建筑的墻厚、立柱框架柱等的潛在性很有可能危害。

② 氣旋仿真模擬

氣旋仿真模擬時,第一次選用 65% 打孔的擋板開展仿真模擬,依據仿真模擬結果,對流場和氣旋傾角渡過規定,以 65。的地區,調節“洞洞板”的開孔率(后蓋板的開孔率 90%、65%、35%、0% 四種),經多次不斷仿真模擬,最后產生圖 4 自然通風,經剖析,根據調節“洞洞板”后蓋板的開孔率,自然通風可以達到該 TFT-LCD 工業廠房的制定規定

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3.3 工程造價比照

架空地板系統軟件建筑結構(參考圖 1)為:構造混凝土樓板  構造混凝土樓板環氧涂料  鋼架結構架空地板支撐點系統軟件   架空地板后蓋板;與之相匹配的無架空地板的“洞洞板”建筑結構(參考圖 2)為:構造混凝土樓板  桶模   構造混凝土樓板平面度解決   防靜電環氧涂料。從表 3 剖析可以看得出,20 萬m2的凈化室,工程造價可以節約約 1.18 億人民幣RMB。

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3.4 工程施工比照

從表 4 述剖析可以看得出,無架空地板“洞洞板”工程施工規定為模版抗壓強度高,構造路面進行面平面度高,環氧樹脂施工工序多,經調研中國的作業狀況,模版可以根據應用高韌性的直發夾板處理,平面度規定可以選用激光器地面找平機器設備來處理,與此同時中國環氧樹脂地面工程施工早已可以做到世界水準,因而施工工藝上可以達到無架空地板“洞洞板”的規定,因為工藝流程較簡易,各步驟中間可以交叉式工程施工,施工期可以節省1~1.5個月。經綜合分析和評定,最后挑選選用無架空地板的“洞洞板”方案設計,典型性總平面圖及剖視圖詳見圖 5 、圖 6 。

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4 設計方案結果認證

該新項目通過12.5個月焦慮不安工程施工后第一臺生產設備住入,與類似新項目對比,施工期減少2~3 個月,工程造價也大幅度節約,潔凈度等級和溫濕度記錄徹底可以實現生產制造工藝技術的規定。新項目運作1 年,評測的自然通風與制定時的氣旋仿真模擬基本一致,Class1000級凈化室的潔凈度檢測 0.3 μm顆粒物在 200 顆下列,遠遠地小于設計的規定。新項目在作業流程中因為雨天和施工方缺乏經驗,一部分路面平面度較弱,在作業流程中提升環氧樹脂金鋼砂地面找平工藝流程,提升了一些花費。

5 結果

無架空地板“洞洞板”系統軟件施工期較短,工程造價較低,但設計方案與工程施工艱難,根據氣旋仿真模擬和選用專業的施工技術徹底可以實現生產制造對潔凈度等級和平面度的規定,是一項創意設計非常值得宣傳和運用

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