IEST-RP-CC012.2：潔凈室設計要點（中文完整版）

IEST-RP-CC012.2的規劃部分能夠幫助用戶建立項目需求和開發基礎設計，環境科學技術學會（IEST），建議實行的標準“IEST-RP-CC012.1：設計潔凈室時要考慮的問題”，最近已經完成修訂，預計在今年年底出版。長期以來，原來推薦的規程一直是有關潔凈室設計、建筑和所有權的主要標準。它往往是用戶開始學習和了解潔凈室用途最重要的第一步。

    這個文件的正式范圍是：這個推薦規程（RP針對潔凈室設計中需要考慮的有關因素提出建議。這個論述僅限于那些潔凈室設計者和用戶經常會遇到的環境條件。

    這個修訂文件――IEST-RP-CC012.2和原來的文件一樣，由兩個主要部分組成：規劃和設計要求。這個新文件是在原來的推薦規程（RP）基礎上做了大量的修訂和更新，并且增加了幾個新題目。

這個新文件包括了對防火、空氣過濾、空氣分子污染（AMC）、工廠自動化、工廠監控和關閉工廠的論述。它對原來的微環境、供電和潔凈室建筑規程都作了重大的擴充。在噪音、振動和污染控制部分也作了更新，不僅包含現有最新的標準，還預測了未來的標準。

    在規劃部分還增加了維護、備用設備、改造、靈活性、生物工程學和能源效率等特殊需求的論述。
IEST-RP-CC012.2對所有行業的潔凈室所有者、使用者、設計者和建造者都很重要。
我們一起來近距離地看看這個新文件。

規劃
規劃部分適用于目前的潔凈室用戶和那些有計劃使用潔凈室的用戶。它用合乎邏輯的程序來引導用戶，這個程序明確了項目的要求，并且提出一套實現這些要求的方法。這部分使用W. Pena于上世紀80年代研究出來的方法，提供其他文件所沒有的信息來源。人們常說，如果把原來的IEST-RP-CC012.1的章節的主題標題單獨拿出來并且去掉后面的論述，它和Pena的最初的工作一樣，是一個非常完整的潔凈室設計清單。這個新文件包括了原來所有的內容并且增加了幾個新章節。

規劃部分首先回顧了制造過程和制定用來確定生產布置的效用圖表。這個效用圖表還可以用來確定與制造工藝有關的污染控制、人身安全和環境問題。

這部分提供污染物控制的指導方針，它把各種類型的污染物分門歸類并且列出用來減輕污染的常用方法。它包括了關于人生安全和環境的問題、關鍵物流、場地選擇標準、安全和進出控制和政府管理方面的論述。

IEST-RP-CC012.2在規劃部分引進一些新題目，包括防火、特殊要求和能源效率。特殊要求部分非常有用，因為它包含了在設計過程中常常被忽視掉的一些問題。這些問題包括維護能力、借用設備、靈活性等。能源效率提出降低能源消耗的建議，而且還提供通過實際案例研究得到的數據。

還有一個新章節，它涉及現有設備的改造問題。它回顧了對現有潔凈室進行改造的物流問題和以后對運行的影響。
這個文件的規劃部分還包括生物工程學、預算和進度方案。

設計要求
IEST-RP-CC012.2的規劃部分能夠幫助用戶建立項目需求和開發基礎設計，這部分關于設計需求的論述增加了關于工藝的細節。我們在這里找到關于各種工廠系統的論述，并且它們可能最適合在最終的設計中使用。這部分首先回顧了潔凈室中氣流模型的類型：單向氣流、非單向氣流和混合氣流，并且提供關于各種氣流模型的使用指導。它還論述了關于如何保持理想的氣流模型的建筑布置。

這個章節是關于氣流的指導方針，已經作了更新并且擴大了范圍，它包含新版的建議氣流速度表。無論提供的怎樣的數據，它總是會引起激烈的爭論。人們希望新版本能夠做和老版本一樣的事情。空氣過濾部分回顧了在線過濾器和終端過濾器兩種產品并且列出了適當的測試標準。http://www.iwuchen.com/

原文件的核心部分――HVAC系統構成，在修訂后的文件中仍然保留，并且提供關于溫度、濕度、壓力和排風方面的討論依據。這部分描述了由排風決定的系統、由冷卻決定的系統和潔凈度分類決定的系統，并且向用戶提供關于哪個系統才是最適合的必要的信息。

文件分別提供溫度、濕度、壓力和排風的指導方針、認證要求和設計參數，通過詳細說明HVAC標準來指導用戶達到項目的具體要求。

增加了新的章節，它涉及檢驗空氣分子污染（AMC）和用來控制空氣分子污染的系統。它將AMC控制和HVAC系統整合在一起，這樣能夠把必要的設計元素結合起來。

關于噪聲和振動的章節已經更新完成，它包括現有的標準和技術。特別值得注意的是，它引進了兩個新的振動標準曲線：VC-F和VC-G。雖然這個新標準還沒有得廣泛的使用，但是對某些應用來說非常重要，比如納米技術。
關于潔凈室電力部分的范圍擴大很多，包括備用設備、安全、應急用的電力系統和備用電力系統等問題。它還論述了靜電干擾和潔凈室照明問題。

關于人身安全的章節現在包括關于有毒氣體監視系統和檢漏的論述。
自IEST-RP-CC012.1第一次出版至今，微環境技術已經取得很大的進步。因此，關于微環境部分的章節增加了許多，并且把重點放在微環境和建筑系統的整合上。“IEST-RP-CC028.1：微環境”中的內容已經加入如何幫助用戶根據具體用途來確定使用什么類型和結構的微環境。

許多新的和現有的工廠在他們的設計中加入自動化系統。這些系統的工廠整合和運行建議非常重要。IEST-RP-CC012.2關于工廠自動化的章節提供了關于這些系統使用和整合方面的指導。

許多現代化潔凈室工廠包含有專門用來提供與操作參數有關的實時信息的工廠監視系統。這些參數包括溫度、壓力、濕度和空氣微粒的等級。這個新文件詳細描述了這些系統并且提供關于所使用的系統類型的指導性意見。
許多工廠老化或者技術落后，需要讓它們退役，這就是關閉工廠程序。這個程序提供經濟上、環境上和人身安全方面的建議。IEST-RP-CC012.2提供與工藝、工廠和建筑部件有關的關閉工廠的指導。

人們把潔凈室建筑規程作為成功的潔凈室項目的基礎。 IEST-RP-CC012.2回顧了執行這樣一個計劃的規劃、物流保障和程序等方面的要求。它回顧了外界隔離、進出控制、培訓和不間斷清潔等方面的要求。這個RP的附錄包括一個的潔凈室建筑規程計劃的例子，適合用戶使用或改進。

長期以來，“IEST RP 12.1：設計潔凈室時要注意的問題”已經成為潔凈室規劃和設計最主要的工具。這與提供食譜不同，它引導用戶通過仔細考慮關于規劃和設計方面的問題，通過開發能夠滿足具體需求的設計標準來協助用戶和設計人員。IEST-RP-CC012.2保留了許多原有內容，在此基礎上對原有內容進行詳細說明，提供更多的內容并且更新設計標準。這個文件是與潔凈室規劃和設計有關的基礎讀物。

作者簡介
本文作者Michael A. Fitzpatrick是McGill潔凈室系統公司副總裁，他從事半導體工廠的設計與建造超過27年。他是環境科學與技術學會的高級會員，擔任“WG-CC012：潔凈室設計中需要考慮的問題”和“WG-CC0028：微環境”的主席。他是IEST的副主席。電子郵件：fitz@mcg-illcleanroom.com。

IEST簡介
環境科學技術學會（IEST）成立于1953年，是一個國際非贏利性的技術組織，由工程師、科學家和教育家組成，他們通過教育和發展推薦規程和標準同時為IEST的會員和自己所代表的行業（地球和太空環境的模擬、測試、控制和教學）服務。IEST是一個美國國家標準化組織認可的標準開發組織、“ISO/TC 209：潔凈室和有關聯的控制環境”的秘書處、美國國家標準化組織認可的“US TAG到ISO/TC 209”的管理機構、美國國家標準化組織認可的“US TAG到ISO/TC 142：空氣和其他氣體的清凈設備”的管理機構和美國國家標準化組織認可的“TAG到ISO/TC 229：納米技術”的創始會員。