潔凈室潔凈度檢驗新項目清單及規定

1.溫度

無塵車間室溫就是指室內空氣氣體的溫度，模塊以℃(℃)提示。可以應用玻璃溫度計、數顯式(包含熱電阻、熱電偶、半導體材料式)溫度表測量室溫，還可以應用干濕度球濕度測量儀、數顯式濕度測量儀和風速計應附的溫度表。規定溫度表檢測局限性應在-10℃至50℃，精確度為±0.3℃。

重視

1)讀值時視野務必與尺標豎直，并與液面層處在統一平面。

2)讀值時不能用手去摸尺標或將溫度表取下插口，更不允許拿手捏住溫包來讀值，不然將導致很大的偏差。

2.空氣濕度

環境濕度就是指空氣中水分含量的成分。有二種提示方法：(1)絕對濕度：模塊容積空氣中所含水量氣的品質；(2)空氣濕度(RH)：空氣中實際水標準氣壓與統一溫度情況下飽和狀態水標準氣壓之比率，模塊用%提示。環境濕度一樣平時用空氣濕度提示。空氣濕度可以應用干濕度計、氯化鋰漏點式濕度測量儀、電容傳感器數據濕度測量儀測量，規定濕度測量儀檢測局限性應在12%至99%，精確度為±0.3%。

應用方法參照常用儀器設備的使用手冊。

3.空氣流速

室內室外溫度差、壓力差、人力通風、中央空調、房間內熱原等都可以造成氣體流動性，同戶外氣旋一樣對污染物質有稀釋液和自由擴散。空氣流速可以用熱球式電風速計和熱線電話式電風速計測量，規定風速計檢測局限性應在0.01m/s至20m/s，精確度為±5%。

應用方法參照儀器設備使用手冊。

4.潔凈車間排風量

（一）基本原理

接受示蹤劑汽體濃度值損耗法。在被測房間內進入適當示蹤劑汽體，因為房間內、外氣體溝通交流，示蹤劑汽體的濃度值呈指標損耗，憑據濃度值隨時間的變化值，籌算出房間內的排風量。

（二）儀器設備和材料

1)迷你或輕柔型汽體濃度值檢測儀。

2)尺、晃動風機。

3)示蹤劑汽體：沒有顏色、無氣味、應用濃度值無毒性、安全、自然環境本底輻射低、易取樣、易分

析的汽體。

表2示蹤劑汽體自然環境本底輻射水準及安全性材料

5.專業批發武器裝備之挑選 、布署與調理

a.要采用發塵性較少的生產制造武器裝備及相應武器裝備，特別是在須重視流動性單位之發塵。

b.應挑選 塵土之危害較小的生產制造武器裝備或插口武器裝備。

c.生產制造用之水、汽體、藥物等通常是產生嚴重污染的原因緣由，故應配置過濾系統。

d.設計方案各武器裝備之設定室內空間時，事前宜考慮不容易累積浮塵之構造，設計方案各并且以非常容易清潔為標準。

e.機械泵等非常容易產生污染物質的這種武器裝備，應設定在潔凈室外邊或送風區，并改裝排汽管線排氣管。

f.設定排水管道線、汽體管道和電氣控制系統時，其機構須考慮到非常容易清潔，不容易累積污染物質。

g.生產制造及相應武器裝備應定期進行清理，以阻攔浮塵之聚集。

h.應提高重視房間內的溫濕度記錄操縱，阻攔因環境濕度之不妥導致冷凝水銹蝕。

i.當裝備維修的時候容易產生浮塵顆粒，故檢修時只要于潔凈室外舉辦，并加護欄網防護。

j.針對工程施工或檢修之生產商，應見告收入支出潔凈室之各類劃分，且用心技術工程師應隨侍在側現場監工。

k.應該有潔凈室常用工具組，但不可以帶出潔凈室外應用。