半導體無塵車間管理制度整理

1．0無塵車間管理的目的

半導體產品生產過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產工藝需要、保證產品質量、安全生產，必須對潔凈室的環境、人員、物料、設備、生產過程等進行控制。關于更多無塵車間管理請參考：http://www.iwuchen.com/news-5/

2．0無塵車間管理的原則

2.1        進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設備的搬入以及相關的設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。

2.2        操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動和動作；室內設備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止潔凈室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖等。

2.3        嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統、各類水氣電系統、生產工藝設備和工器具(工裝夾具)等。以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度等級。

2.4        清掃、滅菌管理，對潔凈室內的各類設備、設施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規定，防止、捎除潔凈室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖。

2.5        潔凈室環境控制的內容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。

3．0適用范圍

半導體公司所有潔凈生產區及潔凈輔助間(包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關生活用室等)、車間內管理區(包括部分辦公、值班、管理和體息室等)和將來新建、改建、擴建的潔凈廠房及其輔助用房。

4．0術語：無

5．0管理程序

5．1無塵車間潔凈室施工管理制度

5．1．1背景

5．1．1．1半導體制造業必須在潔凈的環境中進行，在施工中必須遵循行業規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。為了保證項目的成功，現場的每一位人員都必須遵守。

5．1．1．2圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

5．1．1．3潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進行管理。

5．1．2責任與義務

5．1．2．1所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔凈建設區域的每位工人有責任和義務理解并遵守潔凈建設規則和程序。

5．1．2．2承包商負責執行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔凈規則和程序的人員和設備。

5．1．2．3承包商建造區域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區域工作的人員進行培訓，并維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。

5．1．2．4開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保本規則和程序的執行。 

5．1．2．5重復違反規則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。

5．2無塵車間潔凈度定期檢測制度/測量標準

5.2.1       為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對潔凈室內的潔凈度進行檢測。

5.2.2       檢測測試設備：激光粒子記數器

5.2.3       檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區域進行一次檢測

5.2.4       檢測條件：靜態潔凈度測試

5.2.5       數據收集整理：將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。

5.2.6       各潔凈區域潔凈級別標準：按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。

5.2.7       潔凈室用凈化空調系統及設備的維護管理與相應的操作規程、維修制度等（包括凈化空調系統和潔凈室相關的公用動力系統的設備、管線等管理維護，如，空氣過濾器、空調機、局部凈化設備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等）執行威世半導體(西安)有限公司廠務部相關SOP文件。

5．3潔凈室人員管理制度

5．3．1潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責、潔凈室人員的準入制度、人員培訓教育規定、進入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。

5．3．2人員凈化與進入

5.3.2.1  在潔凈廠房內眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環境中的活動，會明顯地增加潔凈環境的污染程度。

5.3.2.2  對于高級別潔凈區域，應嚴格控制進入人員數量，并規范進行二次更衣。

5.3.2.3  要獲得生產環境所需要的空氣潔凈度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔凈室的人員、物料進行凈化十分必要。

5.3.2.4  為保持潔凈室空氣潔凈度，應盡量減少進入潔凈室人員帶入的污染物。所有進人潔凈室的人員必須嚴格地按規定程序進行人身凈化。

5.3.2.5  個人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級相應的脫衣順序脫衣，放在規定的衣柜內。

5.3.2.6  進入脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。

5.3.2.7  若公司后期發展需要更高潔凈級別要求的潔凈區域（指高于ISO Class7級別）進入前，需要設置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動烘手器烘干）。

5.3.2.8  凡是交叉污染的媒介，要經常洗滌。不要用手觸及高凈化產品和高凈化包裝材料等。要按規定戴手套和指套。