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千級半導體潔凈室是指在一定的空間范圍內排除空氣中的微粒、有害空氣、細菌等污染物,并排除室內溫度、清潔度、室內壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動和照明。靜電控制在一定的需求范圍內,并提供一個特殊的設計室。也就是說,無論外部空氣條件如何變化,其室內都可以具有保持原有設定要求的清潔度、溫度、濕度和壓力的特點。
千級潔凈區
清潔實際操作區的溫度應為20-24℃。
清潔實際操作區域的氣體相對濕度應為45%-60%
房間換風次數:每h25次。
壓差:B級室外相對性≥10Pa,根據旋風流入,同級差區應保持一定的壓差。
超過99.97%的高效送風口泄漏
光強:>300lx-600lx。
噪聲:≤75db(動態檢測)
1.GB50073-2001《潔凈廠房設計規范》。
3.GB55022-1995《建筑內部裝飾設計防火規范》。
4.GB50016-2006《建筑設計防火規范》。
5.JGJ71-1990《千級半導體潔凈室施工及驗收規范》。
6.GB550243-2002《通風空調工程施工及驗收規范》。
7.GB/T5011-2001《暖通空調制圖標準》。
8.GB5015-1992《采暖通風和空調術語標準》。
9.GB50052-1995,《供配電設計規范》。
10.GB50053-1993《通用電配電設計規范》。
11.GB550295-1996《電氣安裝工程電氣照明設備施工及驗收規范》。
12.GB/T14295-1993《空氣過濾器》。
13.GB/T13554-1992《高效過濾器》。
14.GB50019-2003《采暖通風與空調設計規范》。
墻體安裝:
凈化彩鋼板墻體施工將徹底清潔室內地板、立柱、墻壁和空間,達到清潔無塵。工藝分為吊頂安裝和墻板安裝。
吊頂安裝:
現場準備-測量放線-吊頂開孔-支撐吊架龍骨安裝.調整-吊頂安裝.防護口安裝-風口安裝-燈具底板安裝-燈具安裝-撕膜.清潔.涂膠-空氣吹掃.清潔-高效過濾器安裝。
墻板安裝:
現場準備-測量放線-墻板龍骨安裝-各種專業預埋件-門窗.風淋室安裝-撕膜.清潔.膠水-空氣吹掃-回風百葉窗安裝。
安裝通風管道:
千級半導體潔凈室施工的安全規范有哪些:千級半導體潔凈室施工的施工重點有哪些,清潔風管的制造.搬運.安裝是保證清潔度的關鍵。
在施工過程中,很多施工人員都會注意到清潔系統安裝的特殊要求,即:清潔安裝位置;系統安裝清潔(塑料薄膜密封);現場安裝人員穿著干凈;選擇不產生灰塵的材料;接縫應緊密,以防止漏氣等。然而,仍有幾點需要注意:
1.接縫:不允許管道有橫向接縫,縱向接縫也應盡量少,當底邊小于等于mm時,底邊也不允許有縱向接縫;
2.咬傷:應盡量使用聯合角或角度咬合,6級以上的潔凈風管不得使用按扣式咬合;
3.密封:所有咬合縫.法蘭翻邊和鉚釘必須涂上密封膠,防止漏氣;嚴禁在各種密封墊片上涂上油漆;
4.鋼筋:管內不允許設置;
5.法蘭:四角設有螺釘孔,孔距小于,螺釘.螺母.墊片和鉚釘均應鍍鋅;
6.測孔測量:如果管徑大于,應設置清洗和各種孔洞測量;存儲:制作后用中性清洗液清洗,干燥后用塑料薄膜密封;
7.拆封:只允許在安裝過程中拆除管道端口密封膜,安裝中間停止時應再次密封端口;
8.清洗:安裝風管部件時,清除表面的油污和灰塵,并多次使用不易去除纖維的材料擦拭系統內表面;
9.漏氣檢查:系統安裝后,保溫前進行漏氣檢查。(1~5級系統按高壓系統風管規定執行,6~9級系統按中壓系統風管執行),可采用大于的低壓照明燈進行漏光檢測。低壓系統每10米不超過2處,每米平均不超過16處;中壓系統每10米不超過1處,每米平均不超過8處。