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十萬級微電子潔凈室設計施工

來源:http://m.huirenmed.com/ 作者:DEIIANG得創 發布時間:2023-01-30 10:09

十萬級微電子潔凈室設計施工.得創凈化工程專業從事電子潔凈室工程規劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
以芯片生產車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間為代表的電子工業工程潔凈室(區)除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產產品的影響,從而使環境達到電子產品在潔凈環境的生產工藝要求。

十萬級電子潔凈室需要用到哪些凈化設備

眾所周知,現在潔凈室的應用越來越廣泛,在許多企業生產產品的時候都必須要在無塵的環境當中進行,所以現在大部分的企業都會堅持潔凈室,它之所以能夠達到無塵的效果,就是因為在車廂裝配備了許多凈化設備,那么這種車間都會使用到哪些凈化設備呢?下面小編帶大家來來了解一下吧
潔凈室需要用到的凈化設備
在潔凈室當中,首先要說的就是進風系統,對于任何一個潔凈室來說,為了能夠有效的提升空氣的清潔度,就必須要安裝進風系統,除了進風系統之外,還必須要安裝回風系統,只有這兩個系統同時使用,才能夠有效的更換空間內的空氣,其中最主要的就包括各種過濾箱,另外還有中央凈化空調
當然潔凈室當中的凈化設備還有很多,不僅只有上面所說的這些,對于10-千級:的潔凈室而言,在建設的過程當中,還必須要安裝垂直層流工作臺,另外還包括自凈器和潔凈棚,除此之外,當工作人員進入到該車間之內,為了保證車間內空氣的清潔度,還必須要建設緩沖區,在緩沖區當中必須要設置潔凈儲衣柜和空氣清新機,從而能夠保證工作服的清潔度
對于任何一個潔凈室來說,都需要包含上面所說的這些設備,只有安裝這些設備之后才能夠有效的提升空氣清潔度,當然對于垂直層流工作臺,如果潔凈室的等級不算太高的話,則無需安裝這樣的清潔設備

電子潔凈室標準 電子潔凈室標準
   

十萬級電子潔凈室設計時這些問題要注意

隨著醫藥行業和電子產業的發展,越來越多的實驗和生產需要在潔凈室中進行。潔凈室的設計要滿足各行各業的需求,所以,在潔凈室在設計時有許多需要注意的地方。下面來看看吧
1、潔凈室 和其他房間例如辦公房間等獨立開來,并應該讓潔凈室處于風速最小的區域。為了滿足生產工藝優化的需要,潔凈室的空間布局不宜有太多的分隔,應該靈活機動,能夠隨著生產需要的變化而變化
2、在非潔凈室到潔凈室之間應該安裝一系列的風淋設備,因為風淋室中吹出的干凈空氣能夠吹去貨物和工作人員身上攜帶的塵埃,同時還可以避免人和貨物攜帶外界未經過凈化的空氣進入潔凈室
3、潔凈室安裝有空氣高效過濾器,一般安裝于排風口處,為工作人員提供呼吸用的新鮮空氣,同時保持室內的恒定壓力

電子潔凈室標準 電子潔凈室標準
   

十萬級電子潔凈室節能設計有哪些

1、馬達效率
馬達消耗了潔凈室的大部分電能。使用優質高效的馬達,不一定會花費太多。高效率意味著最小,在改變馬達的尺寸之前先盡量減小負荷。在輸出量變化時,利用變速驅動(VSD)可以提高操作效率。
2、雙溫度冷凍循環
冷凍水的供給溫度每增加一華氏度,冷凍器效率就提高一個百分點以上。提供兩個不同溫度的冷凍水,那么工作效率將會更高。設計人員可以使用并聯循環管路,將他們 成兩個子系統,這個方案可以迅速增加整個冷凍機機組的效率提高25%或更多。對于相同容量的冷凍機,高溫工作要比低溫工作花費小得多。
3、低斷面風速設計
斷面風速是指空氣經過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。在低斷面風速(LFV)設計中,使用更大的空氣處理器和更小的風機,從而降低空氣的流速,降低能耗。如果空氣流量降低50%,風機能耗將下降88%。最優的斷面風速范圍是250-450英尺/分鐘,具體取決于使用情況和能量消耗。
4、熱量回收
許多任務都要消耗大量的能量來制熱,同時又消耗更多的能量從工藝過程中移除“廢”熱,可以把這兩個過程結合起來設計。回收的熱量可以用來預熱新風,送風再熱,熱交換器可以使不能混合或者直接接觸的不同介質進行熱量交換。
5、變速驅動的冷凍機
變速驅動冷凍機通常工作在全負荷的90%-95%以節省能量。購買變速驅動冷凍機是劃算的。用變速驅動冷凍機可降低能耗,同時讓其他冷凍機可靠性運行。有許多的研究和實驗證明,變速驅動冷凍機的效果是很好的。
6、換氣次數
無塵車間要維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數。流量根據每小時的換氣次數來確定,同時這也決定了風機尺寸、建筑構型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下,空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。ISO建議第5級潔凈室的換氣次數大約是200,保守的上限是300。

電子潔凈室標準 電子潔凈室標準
   

十萬級電子潔凈室凈化設備的安裝

凈化設備的安裝
1.根據潔凈廠房中產品生產的需要和人員凈化.物料凈化等要求,一般設置有各種類型的凈化設備。各類凈化設備與潔凈室的圍護結構相連時,其接縫必須密封。
2.風機過濾單元(FFU.FMU空氣凈化設備)的安裝,一般應做到如下要求。
FFU或FWU裝置應在潔凈的現場進行外觀檢查,目測不得有變形.銹蝕.漆膜脫落.拼接板破損等現象。
在風機過濾單元的高效過濾器安裝前應進行檢漏,合格后才能進行安裝。方向安裝必須正確,安裝后的風機過濾單元應便于檢修。
安裝后的風機過濾單元,應保持整體平整,與吊頂銜接應良好。風機箱與過濾器之間連接.風機過濾器單元與吊頂框架之間均應采取可靠的密封措施。
風機過濾器單元在進行系統試運轉時,必須在風口加裝臨時中效過濾器。
3.帶有風機的氣閘室.風淋室與地面間應隔振墊;安裝時應按產品說明要求,做到平整并與潔凈室圍護結構間配合正確,其接縫應進行密封。
4.機械式余壓閥的安裝,閥體.閥板的轉軸均應水平,允許偏差為2/1000。余壓閥的安裝位置應符合設計要求,一般設在室內氣流的下風側,并不應在工作面高度的范圍內。
5.傳遞窗的安裝應符合設計圖紙和產品說明書的要求,安裝應牢固.垂直,與墻體的連接處應進行密封。
6.潔凈層流罩的安裝應做到如下要求。
應設有獨立的吊桿,并設有防晃動的固定措施。
層流罩安裝的水平度的允許偏差為1/1000,高度的允許偏差為±。
當層流罩安裝在吊頂上時,其四周與頂棚之間應設有密封和隔振措施。

電子潔凈室標準 電子潔凈室標準
   

十萬級電子潔凈室裝修注意事項

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環境要求
通風:實驗室在實驗過程中會產生大量的有毒有害氣體,對人體產生傷害,實驗室應保持良好的通風,并裝備相應的通風設施
如:通風柜、萬向排氣罩、原子吸收罩及其他局部排風裝置。必要時需對整個房間設計整體排風和補風系統
溫度和濕度:為了保障實驗室工作人員有一個適合的工作環境,以及儀器設備有一個穩定的工作狀態,實驗室應保持適宜的溫度和濕度。夏季事宜溫度為18-28℃,冬季為16-20℃,濕度控制在30%-70%之間,在局部實驗區域對濕度和溫度有嚴格要求的可以建立恒溫恒濕室
潔凈度:經常保持實驗室的清潔非常重要,實驗室換氣過程中室外塵土及其他污染物容易進入實驗室內,導致實驗室含塵量過高,空氣不潔凈影響實驗結果。而且塵土及微粒落在儀器設備元件表面,容易形成故障,或其他潛在危險。通常實驗室在補風入口加裝過濾網,并及時對室內及設備做清潔。在對潔凈度有特殊要求的實驗區域,應建立潔凈間,根據潔凈要求不同可分為百級、千級、萬級、十萬級等
設置要求
供水與排水,排污:實驗室供水分為自來水和純凈水。自來水供水可用PPR管做水路,純凈水則用不銹鋼管做水路。實驗室通常裝有水龍頭、洗眼器、緊急噴淋等。一般實驗室水可直接排入城市下水網道,而有毒廢水必須凈化才能排入下水網道或建立專門的廢液處理池
供電:電力是實驗室的重要動力,為保障實驗室的正常工作,電源的質量,安全可靠性及連續性必須保證。一般用電和實驗用電分開,對一些精密貴重儀器設備要求提供穩壓,恒流,穩頻,抗干擾的電源;必要時須建立不中斷供電系統,還要配備專用電源(UPS)等
供氣:實驗室使用的壓縮氣體鋼瓶,應保持最少的數量,放置帶報警裝置的氣瓶柜內,不可靠近火源,直接日曬
廢氣排放:實驗室廢氣量少,危害性少,可直接排放,但排出管必須高出附近建筑3m。對毒性較大和濃度高的廢氣,則需凈化處理再行排放。一般可采用活性炭吸附塔和噴淋吸附塔

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此文關鍵字:十萬級,微電子,潔凈室,設計,施工
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