微電子潔凈廠房空調系統設計

微電子廠房的凈化主要是工業廠房內的生產加工地區。依據制作工藝的規定，凈化級別為1000級，設計方案單邊流的空調機組方式，本工程施工選用的是組合型中央空調機組（MAU解決新風）+干風機盤管（DCC解決回風）+FFU（高效送風口）空調機組方式；考慮到機器設備相對高度及駕駛相對高度后，在所有生產制造地區上邊7.95m的相對高度設定一個清潔內腔，清潔內腔相對高度為2m。在清潔內腔上端設定設備平臺（原土建工程沒有，現新增加），新風機組、排風系統離心風機、活性氧解決以及他機器設備均置放在設備平臺上。夏天：戶外的新風通過過慮及減溫去濕解決后，送進清潔內腔。冬天：房間內的熱排風系統根據平板式熱交換器機組，加熱戶外新風，經過慮，加溫增濕解決后，送進清潔內腔。送進清潔內腔內的新風與凈化車間內通過干風機盤管解決的回風混和，由FFU送進凈化車間。FFU的吸進口端設定中效過濾器，出入口端設定高效送風口。送進窒內的風根據架空地板的打孔，返回凈化車間兩邊的回風墻里。

3凈化車間新風計算

工業廠房內清潔地區樓高7.95m，總面積為2100m2。依據上邊描述規定，此次設計方案工業廠房里外壓力差為10Pa時，密封性好沒外窗，漏水換風次數取1次/h，測算工業廠房漏水量為：2100m2×7.95m×1次/h=16695m3/h。因此測算清潔地區最少新風量為以上全部風量之和，測算約為121600m3/h，按此風量挑選新風解決機組。

4.1新風機組的設計挑選及冬天排風系統的余熱回收依據上邊測算，此次設計方案挑選組合型新風機組

三臺置放在設備平臺上，雙用一備，每臺風量為65000m3/h，選用直流變頻操縱。因為機器設備機臺排風系統溫度較高，夏天排風系統均立即排入戶外，冬天排風系統加熱新風，選用兩部空氣處理機組，全熱交換器設定在設備平臺上邊，每臺解決風量為60000m3/h。

4.2新風解決機組的設備由各作用段構成

新風通道→初中級過濾裝置→初級過濾裝置→一次加溫（制冷）風機盤管→干蒸氣增濕（純凈水）→檔板→二次加熱盤管→離心風機段→高效送風口（出入口）。新風經加工處理后送至清潔內腔內。

4凈化生產車間回風解決

本工程項目針對回風的方法前邊己經提及，送進窒內的風根據架空地板的打孔，返回凈化車間兩邊的回風墻里。回風墻回至機器設備隔層，并在回風墻側設定干風機盤管（DCC），使屋內的回風所有通過干風機盤管解決后，由離心風機送到至清潔內腔內。干風機盤管僅擔負房間內的顯熱負荷，用以終端設備處置的空調水系統選用高溫水（供智能回水水的溫度為14℃/18℃，由致冷機組給予的涼水根據板式熱交換器給予）。需注意的是，因為生產設備自身凈重側重，構造設計專業了許多的設備基礎服務平臺及交貨安全通道，工廠地面剩下一部分為髙壓打孔木地板，做為回風口，為確保回風質量（回風風量及其回風風力），達到房間內潔凈度等級規定，木地板的開孔率不小于25%。