處理芯片生產線潔凈室。電子器件凈化車間潔凈室和硬盤生產制造生產車間是電子生產制造潔凈室的關鍵構成部分。電子商品的具體目的是操縱顆粒物和塵土，并嚴苛要求其自然環(huán)境的溫度和環(huán)境濕度，由于他們在生產和生產過程中對室內環(huán)境自然環(huán)境和品質有著極為嚴謹的規(guī)定。

一、半導體潔凈工業(yè)廠房凈化設備主要參數規(guī)范：

1.半導體電子千級潔凈室噪音級(空態(tài))：不得超過65dB(A)

2.半導體電子潔凈室的豎直流動潔凈室不小于60%，水準單向流動潔凈室不可低于40%，不然為部分單向流動。

3.潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)中間的負壓差不可低于5pa，半導體電子潔凈廠與戶外負壓差不可低于10pa。

4.電子加工制造業(yè)千級潔凈室的較大氣量應取下列二項：

5.對房間內排量開展賠償，內正壓力需要的清新空氣量。

6.保證每鐘頭清新空氣量不小于40m3的凈化車間潔凈室。

7.電子加工制造業(yè)潔凈室空調機組電加熱器應配置清新空氣。過熱開關電源維護。假如點增濕，應設定沒有水維護。在嚴寒地域，家用新風系統(tǒng)應采用防寒對策。

二、半導體潔凈工業(yè)廠房凈化設備的規(guī)定：

1.應詳細說明ISO與占有情況有關的級別，隨后才可以明確最好設計方案標準。

2.表格中的氣流種類表明潔凈室的氣流特點：U=單向流動；N，非單向流動；M=混和流動種類(U和N的混和)。

3.潔凈室的單向流動種類一般選用均值氣流速率。單向氣流速度的要求在于可控室內空間的形態(tài)和熱氣環(huán)境溫度。渾濁設備的前風力并非指單向總流量。

4.非單向流動和混和流動選用每鐘頭自然通風頻次。樓層高度3.Om的售賣室適用企業(yè)總面積送排風量最佳值。

5.應采用嚴苛的密閉對策。

6.合理分離出來污染物和待自然保護區(qū)：可以應用硒板或氣流天然屏障。